SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月4-6日，广明源将参展2025 SEMI-e 中国（深圳）国际(guójì)半导体展览会，诚邀(chéngyāo)行业伙伴莅临14号馆14G22展位，现场交流172nm准分子光科技在半导体制造中的创新应用(yìngyòng)，共探制程(zhìchéng)优化新路径。 172nm MINI实验模组 新品首发(shǒufā) 本次展会，广明源(yuán)将首发推出自主研发的新品——172nm MINI实验模组。该产品专为半导体工艺研发、制程(zhìchéng)验证及小批量(xiǎopīliàng)试产环节设计，具备结构精简(jīngjiǎn)、成本可控、桌面即放即用、便携灵活等特点，适配多种实验环境与制程需求。 172nm 深紫外黑科技(kējì) 可高效分解晶圆表面有机残留，提升洁净度与附着(fùzhuó)性能，为(wèi)封装、清洗等工艺提供稳定前处理方案。 极简结构，桌面级(jí)准分子实验新体验 由于传统准分子光辐照器因(qìyīn)高纯度 N₂填充结构复杂，难以实现桌面级(jí)灵活实验。广明源创新推出紧凑台式准分子光照射器——172nm MINI实验模组，机身仅相当于书本大小，采用高集成轻量化设计，打破空间(kōngjiān)与成本壁垒，助力高校、企业及(jí)研究机构轻松搭建准分子光实验环境，满足(mǎnzú)平板显示光清洗、塑料表面改性等多领域研发需求(xūqiú)。 封装工艺表面(biǎomiàn)清洁处理 超净化超微细(wēixì)清洗工艺验证 172nm 系列全线亮相共襄盛会(shènghuì) 除新品发布外，广明源还将展出多款172nm准分子系列光源与(yǔ)模组产品，覆盖晶圆清洗、半导体基材表面活化、超纯水TOC降解等多个(duōgè)关键工艺环节，为制程优化与设备(shèbèi)升级提供更多选择。 172nm准分子(zhǔnfènzǐ)系列光源 172nm准分子系列模组(mózǔ)及设备 SEMI-e 2025 ，诚邀(chéngyāo)莅临 欢迎半导体制造企业(qǐyè)、设备厂商、工艺研发工程师及行业伙伴莅临参观交流，现场(xiànchǎng)了解(liǎojiě)172nm准分子光科技在半导体制造领域的多元应用，共同探讨合作机会。 2025 SEMI-e 中国（深圳(shēnzhèn)）国际半导体展览会 时间：2025年6月(yuè)4-6日 地点：深圳(shēnzhèn)国际会展中心14号馆 （本文来源：日照新闻网。本网转发此文章，旨在为读者提供更多(duō)信息资讯，所涉内容不构成投资(tóuzī)、消费建议(jiànyì)。对文章事实有疑问，请与有关方核实或与本网联系。文章观点非本网观点，仅供读者参考。）